仪器仪表工业论文_MEMS陀螺仪的研究现状与进

文章目录

0 引 言

1 MEMS陀螺仪的机械单元的微结构

1.1 简并模式MEMS角度陀螺仪

1.2 非简并模式MEMS陀螺仪

2 MEMS陀螺仪的电子学控制

2.1 速率陀螺仪的机械化

2.2 全角机械化

文章摘要:MEMS陀螺仪是MEMS传感器中应用最广泛的器件。当今信息智能时代的发展为MEMS陀螺仪带来新的发展机遇,使MEMS陀螺仪进入更高精度和更高可靠性的新的发展阶段。从微结构、电子学控制、工艺平台和集成应用四个方面综述了MEMS陀螺仪的最新进展。对MEMS陀螺仪分别按简并和非简并工作模式;速率陀螺仪的机械化和全角机械化;体Si、表面工艺、3D结构、封装和修调工艺等;高性能集成、高精度校准、数据融合新算法和各类导航应用等详细分类与内容进行介绍。在提取MEMS陀螺仪在微结构等四个方面的技术创新点的基础上,进一步分析了MEMS陀螺仪的发展趋势和未来发展重点。

文章关键词:MEMS陀螺仪,传感器,角度陀螺仪,速率陀螺仪,惯性测量单元(IMU),

论文作者:李永¹ 赵正平² 

作者单位:1. 中国电子科技集团公司第十三研究所 2. 专用集成电路重点实验室 

论文DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2021.09.001

论文分类号: TH824.3;TP212

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